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全自动精密子能谱化学分析技术原理是依据全自动精密效应现象微探针分析技术 表面成分和原子状态分析的样品里，被分析的体积是一个立方微米。数量级时，称为全自动精密金相切割机分析。微区分析通常采用一定能量的一次束，如电子，离子，光子和中性粒子(原子或分子)，作为微探针去激发固体样品，结果产生反映样品表面特性的二次束，对二次束进行能谱或质谱分析，即获得有关表面的元素组成、原子体状态等信息。 从特征X射线分析物质中元素，有两种方法——波谱分析法和能谱分析法。波谱分析法是利用晶体对某特征X射线发生卫射的条件来鉴定特征X射线的波长。能谱分析法是测量X射线光量子的能量来确定在激发体积中物质包含什么元素。全自动精密子能谱化学分析技术 在表面分析工作中，有时需要状态分析，即分析原子间化学的结合状态、电子束缚能，电荷分布和电子状态等。这些信息对研究表面化学反应、表面吸附和催化，以及表面的氧化和腐蚀等都是十分重要的。光和物质相互作用所产生的全自动精密效应，全自动精密子动能和各级电子的结合能有关，所以应用全自动精密子能谱法进行表面化学状态分析最为有效。 全自动精密子能谱化学分析技术(ESCA)的原理是依据全自动精密效应现象。当用单色光照射晶体固体表面时，会把固体表面中电子打出，这种现象称为全自动精密效应，所打出的电子称为全自动精密子
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