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SEM电镜属大型精密仪器-倍率和图像的分辨率较高 |
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SEM电镜属于大型精密仪器-倍率和图像的分辨率较高 SEM属大型精密仪器,要发挥它的高精密度作用,就须做好调试工作。而SEM的主要性能指标状态是动态的,随着使用时间和条件的变化,性能会有不同程度的降低,因此要经常调整才能保证较佳的工作状态。调试主要包括照明系统的对中,灯丝饱和电流的调节,光学系统的对中和物镜、消像散的调节。高分辨率的仪器,未必能获得高分辨率的图像;只有精细制作的样品,才能保证图像的高质量。 用SEM观察时要目的明确,并根据样品的性质和结构特征,选择合适的加速电压、放大倍数、照明强度和灰度指数。生物样品在高加速电压下,易产生充放电现象或辐射损伤,所以不应较长时间观察或拍照。但加速电压较高时,电子束能量大,激发的二次电子数量多,有利于提高图像的分辨率,降低信噪比和增大反差,有利于高倍率观察。所以要综合考虑,选择适当的加速电压。 要保证图像清晰、信息饱满,聚焦操作亦是关键。事先要熟悉样品的方位、结构特征和需放大倍数,使观察部位一开始就进入视野,节省寻找时间。然后调到比照相所需数高一二个档级的倍数,仔细聚焦和调节消像散。聚焦清晰后,立即退回所需照相倍数拍照,以缩短聚焦时间。对于表面粗糙,凹凸差异很大的样品,要求有较大的焦深才能使粗糙程度呈现出来,要选用小的物镜光阑和大的工作距离。低倍观察时,视野扩大,要选用较小的聚光镜电流,大的物镜光阑和工作距离。高倍观察,主要考虑分辨率,则要求束斑直径小,聚光镜电流大,这时辐照区域很小,二次电子信号很弱,因此要采取较长的曝光时间拍照。
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