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光学金相试样切割机按照照明光源的不同分类有何特点 |
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光学金相试样切割机按照照明光源的不同分类有何特点 几种类型的全自动精密金相切割机技术及其在微电子产品污染检验方面的应用。全自动精密金相切割机技术在了解器件结构及污染的内在关系方面己成为一种强有力的检验技术。 它可以在微米级范围内观察器件表面存在的物体。 各种全自动精密金相切割机仪器可归并为两类: 一类是在整个焦平面内同时显像;另一类则是用被聚焦的点在指定区域内运动而产生图像。 光学金相试样切割机和透射式电子金相试样切割机都属于同时显象一类, 照明光学 光学金相试样切割机是一种能迅速全面地观察缺陷和杂质粒子的工具。用这种金相试样切割机观察杂质粒子,往往直接就识别了,并可找出粒子和缺陷间的关系及其产生的原因和效应。 反射式和透射式照明系统在光学金相试样切割机中都能使用 光学金相试样切割机具有一连串的透镜:聚光镜、物镜和目镜。在反射式照明系统中,物镜还兼有聚光镜的作用。不论是反射光,还是透射光都有几种照明形式:即亮视场、暗视场、偏振光、相位反差以及干涉反差等。
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