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电镜分辨率较高和景深大约为光学金相试样抛光机10倍作为现代全自动精密金相切割机分析仪器的主要手段．扫描电镜可以以较高的分辨率(0.4～3nm)和大的景深(约为光学金相试样抛光机的10倍)清楚地显示材料的表面和断面信息、提供材料的优劣原因等，广泛应用于诸多领域．并日益受到人们的重视。 扫描电镜特点 扫描电镜 具有操作简便且得到的全自动精密金相切割机结构信息直观的特点．成为目前材料微区全自动精密金相切割机结构观察和成分分析***常见的工具。扫描电镜的主要特点如下： (1)图像分辨率高、放大倍率大。目前扫描电镜的分辨率为3～O．4 nm．相对应***大有效放大倍率可达10万～150万。 (2)景深大。一般情况下．扫描电镜的景深是透射电镜的10倍，是光学金相试样抛光机的100倍，特别适合观察一些粗糙不平的断门。 (3)无损分析。对大部分材料，只要尺寸能够放人样品室的话，就可采用合适的条件。无须对试样进行任何处理，直接进行观察分析。 (4)试样制备简单。试样可以是自然表面、断口、块体、反光 扫描电镜的发展简史 扫描电镜的基本原理由Knoll于20世纪30年代提出。随后Ardenne于1938年通过理论计算和实验对磁透镜系统进行了改进，从而能够缩小电子束斑直径以得到更高的分辨率。Ardenne的实验装置实际上是扫描透射电镜(scaming transmission electronmicroscopy．STEM)，既允许电子穿透薄样品直接在胶卷上成像．同时也可以通过收集二次电子与背散射电子信号通过阴极射线管成像。
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