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上光一厂测量表面粗糙度双光束金相试样抛光机的原理灯源，经聚光镜、干涉滤光片，再经另一聚光镜，投射到反光镜上，再通过孔径光阑和视场光阑，经照明聚光镜投射到分光板上。分光板把投射在它上面的光束分成两部分，一部分透过，一部分反射。从分光，板透过的光束，经补偿板被物镜会聚到其焦面处的被测表面(即工件测量面)上。然后被该表面反射，重新通过物镜和补偿板，到分光板。 另一部分光束从分光板反射到物镜，再到参考镜(即标准镜面)上，由标准镜面反射后，重新经物镜到分光板。两部分返回的光束相遇后发生干涉，在无穷远处形成鲜明的干涉带。调节可调反光镜，将它移到目镜的焦平面上。于是，通过目镜就能观察到干涉带及被测表面的影象。 仪器照相时，可以把可调反光镜从光路中移出，光线就直接在照相反光镜_卜反射后射向照相物镜和照相底片。干涉法 (1)光波干涉原理干涉法就是利用光波干涉原理来测量表面粗糙度。双光束金相试样抛光机的简单原理所谓干涉金相试样抛光机就是干涉仪和金相试样抛光机的组合，将被测件与标准光学镜面相比较，用光波波长作为尺寸来衡量工件表面微观不平度的高度。其原理如下。由光源A发出的光，经透镜、光阑和反射镜射到半透明的分光镜上，分为二束光线，～束射向被测工件表面后反射回来，另一束经分光镜射向参考镜而后也反射回来。由于这两柬光线之间有光程差，相遇时，便产生光波干涉，形成明暗交替的干涉条纹。著被测表面为理想表面，则干涉条纹为一组等距平行的干涉带，若被测表面有微观不平度，则形成弯曲的干涉条纹。干涉条纹的弯曲程度用光波来度量之，从而测得表面粗糙度的参数值．
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